檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "表面粗糙度".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="薄膜殘留應力"
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本文探討電子束蒸鍍薄膜之殘留應力,以表面輪廓儀量測薄膜蒸鍍前後的曲率變化,再反算其殘留應力,並以有限元素進行數值模擬。首先以電子束蒸鍍機沉積鈦(Ti)薄膜在矽晶圓表面,鈦(Ti)薄膜於不相同沉積速率…